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| 題 名 | 探討不同結合度的砂輪磨削於藍寶石晶圓之聲射訊號特徵=Investigation on the Characteristics of Acoustic Emission Signal from Grinding Wheels with Different Grade in Grinding Sapphire Wafer |
|---|---|
| 作 者 | 林玉堃; 丁嘉仁; 張高德; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 451 2020.10[民109.10] |
| 頁 次 | 頁19-24 |
| 專 輯 | 先進製造技術專輯 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 藍寶石晶圓; 砂輪結合度; 磨損率; 聲射訊號特徵; Sapphire wafer; Grade of grinding wheel; Ratio of wear; Characteristics of AE signal; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |