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| 題 名 | 濕式蝕刻製程中晶體系統與異向性蝕刻速率對其表面形貌的影響=The Influence of Crystalline Structure and Anisotropic Etching Rate on Surface Morphology by Wet Chemical Etching |
|---|---|
| 作 者 | 王建興; 楊宗侑; 李昆達; | 書刊名 | International Journal of Science and Engineering |
| 卷 期 | 10:1 2020.04[民109.04] |
| 頁 次 | 頁21-34 |
| 分類號 | 448.552 |
| 關鍵詞 | 相場法; 濕式化學蝕刻; 表面形貌; 異向性蝕刻; Phase-field method; Wet chemical etching; Surface morphology; Anisotropic etching; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |