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來源資料
科儀新知
221 2019.12[民108.12]
頁88-100
精密機械工藝
>
測定儀器
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題名
應用於晶圓級氣體感測器之高效能點測設備開發=Development of a Probing Equipment with High Throughput for Wafer-based Gas Sensors
作者姓名(中文)
陳銘福
;
林儀豪
;
陳志文
;
陳柏睿
;
林郁欣
;
卓文浩
;
陳建霖
;
柯志忠
;
書刊名
科儀新知
卷期
221 2019.12[民108.12]
頁次
頁88-100
分類號
471.3
關鍵詞
晶圓級氣體感測器
;
點測系統
;
電性量測
;
語文
中文(Chinese)
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