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題名 | 智能光學監控技術應用於自動化濺鍍系統=Application of Intelligent Optical Monitoring Technique on Automation Sputtering System |
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作者姓名(中文) | 李孟錡; 林育賢; 王懷逸; 郭倩丞; 李正中; 謝宗翰; 陳友凡; 蔡振源; 楊宏河; 林偉德; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 32:2 2019.06[民108.06] |
頁次 | 頁43-50 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 反應式濺鍍; 光學監控; 間歇式直接監控; Metamode; Metamode reactive sputtering; Optical monitoring; Intermittent direct monitor; |
語文 | 中文(Chinese) |