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來源資料
真空科技
19:3 民95.12
頁93-96
電機工程
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電燈之特殊應用
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題名
估算蒸鍍速率以提升膜厚控制準確度之研究
作者
張永欣
;
邱柏凱
;
陳宏彬
;
潘漢昌
;
蕭健男
;
書刊名
真空科技
卷期
19:3 民95.12
頁次
頁93-96
分類號
448.59
關鍵詞
光學監控
;
電子束蒸鍍
;
語文
中文(Chinese)
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