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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
39 2018.06[民107.06]
頁39-45
電機工程
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電燈;照明電器
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題名
MEMS振動感測器於智慧機械之應用與開發
作者
吳宗勳
;
郭秦輔
;
鄧禮濤
;
林育聖
;
蘇中源
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷期
39 2018.06[民107.06]
頁次
頁39-45
分類號
448.5
關鍵詞
感測器
;
電容式微機電振動感測器
;
智慧機械
;
MEMS
;
語文
中文(Chinese)
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