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題 名 | 碳化矽晶圓缺陷暨檢測技術簡介=Introduction of Silicon Carbide Wafer Defects and Related Inspection Techniques |
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作 者 | 梁記偉; 戴嘉宏; 虞邦英; 陳學儀; 馬代良; | 書刊名 | 新新季刊 |
卷 期 | 46:2 2018.04[民107.04] |
頁 次 | 頁175-182 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 碳化矽晶圓; 缺陷檢測; 微管; 多晶嵌入; X光拓撲儀; SiC wafer; Defect inspection; Micropipes; Polytype inclusions; X-ray topography; |
語 文 | 中文(Chinese) |