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題名 | 非對稱性雙極脈衝電漿化學氣相沉積法蒸鍍DLC薄膜於氮氧化處理PM30粉末高速鋼之研究=A Study on Asymmetric Bipolar-pulsed PECVD Process Deposition DLC Films on Oxynitriding-treated PM30 High Speed Steel |
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作者姓名(中文) | 張世賢; 賴育呈; 劉沖明; 游孟勳; 彭昶凱; | 書刊名 | 鑛冶 |
卷期 | 62:1=241 2018.03[民107.03] |
頁次 | 頁60-67 |
分類號 | 472.15 |
關鍵詞 | PM30高速鋼; 氮氧化處理; 類鑽碳膜; 雙極脈衝電漿化學氣相沉積法; 拉曼光譜; 磨耗; PM30 high speed steel; Oxynitriding treatment; DLC; Bipolar-pulsed PECVD; Raman spectroscopy; Wear; |
語文 | 中文(Chinese) |