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題 名 | 溝槽式超薄主動層之鰭式無接面薄膜電晶體=High Performance Ultra-Thin Body (2.4nm) Poly-Si Junctionless Thin Film Transistors with a Trench Structure |
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作 者 | 葉沐詩; 吳永俊; 吳明欣; 詹易叡; 鍾明憲; 洪敏峰; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷 期 | 24:1 2017.03[民106.03] |
頁 次 | 頁22-26 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 無接面式電晶體; 鰭式電晶體; 奈米線; 溝槽式無接面電晶體和超薄主動層; Junctionless thin film transistors; FinFET; Fin field-effect transistor; Nanowire; Trench junctionless transistors; Ultra-thin body; UTB; |
語 文 | 中文(Chinese) |