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來源資料
真空科技
30:2 2017.06[民106.06]
頁48-59
電機工程
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電燈之特殊應用
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題名
光電元件的薄膜應力量測技術發展
作者
陳錫釗
;
黃國鼎
;
鄭柏威
;
書刊名
真空科技
卷期
30:2 2017.06[民106.06]
頁次
頁48-59
分類號
448.59
關鍵詞
懸臂樑法
;
牛頓環法
;
X-ray繞射法
;
干涉法
;
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;
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;
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;
語文
中文(Chinese)
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