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題名 | 高穩定性微量鋁摻雜銦錫氧化物薄膜沉積研究=Environmental-Protection Colored Hard Coatings for Metal Substrates |
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作者 | 李清庭; 謝詠淨; 林詠濠; 陳佳琪; 蔡武翰; 李欣縈; 邱俊凱; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 30:1 2017.03[民106.03] |
頁次 | 頁32 |
分類號 | 472.16 |
關鍵詞 | 銦錫氧化物薄膜; 磁控式射頻濺鍍系統; 微量鋁摻雜; 熱處理; Indium tin oxide film; ITO; Magnetron radio frequency sputtering system; Slightly Al-doping; Thermal treatment; |
語文 | 中文(Chinese);英文(English) |