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題名 | 利用直流脈衝電漿化學氣相沉積法於不同工作週期下蒸鍍DLC薄膜於氮氧化處理ASP60高速鋼之研究=Study on the DLC Films of Oxynitriding-treated ASP60 High Speed Steel via Various Duty Cycles of DC-pulsed PECVD Process |
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作者 | 張世賢; 顏士紘; 劉沖明; 吳韋辰; 莊展宇; 黃麒榕; Chang, S. H.; Yan, S. H.; Liu, C. M.; Wu, W. C.; Chuang, C. Y.; Huang, C. L.; |
期刊 | 鑛冶 |
出版日期 | 20160300 |
卷期 | 60:1=233 2016.03[民105.03] |
頁次 | 頁91-99 |
分類號 | 472.15 |
語文 | chi |
關鍵詞 | ASP60高速鋼; 氮氧化; 類鑽碳膜; 直流脈衝電漿化學氣相沉積法; 磨耗; ASP60 high speed steel; Oxynitriding; DLC; DC-pulsed PECVD; Wear; |