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題名 | 利用低溫微波退火製程探討磷離子與砷離子固相磊晶成長所呈現的活化與非活化特性=Activation and De-activation of Phosphorus and Arsenic through Solid Phase Epitaxily Growth by a Low Temperature Microwave Annealing Process |
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作者 | 薛富國; 李耀仁; 林昆霖; 趙天生; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷期 | 19:1 2012.03[民101.03] |
頁次 | 頁14-22 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 微波退火; 磷離子; 砷離子; 固相磊晶成長; 電晶體; |
語文 | 中文(Chinese) |