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題 名 | 半導體廠房無塵室煙控系統設計 |
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作 者 | 陳昶安; 陳詠翔; 陳俊勳; | 書刊名 | 化工技術 |
卷 期 | 22:1=250 2014.01[民103.01] |
頁 次 | 頁97-110 |
專 輯 | 高科技產業安全機制專輯 |
分類號 | 555.56 |
關鍵詞 | 火災模擬; 無塵室; 防煙垂壁; FDS; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究主要利用火災模擬軟體FDS,針對無塵室內的煙控系統進行模擬分析,目前的十二吋晶圓廠因無塵室屋頂必須架設運送軌道來搬運晶圓,此軌道設計會穿過防煙垂壁,使防煙垂壁效用受到破壞,且無塵室內部下吹式空調設計於火災發生時會影響煙流的流動,故本研究首先針對無防煙垂壁之無塵室內,煙流流場之影響進行探討。由於無塵室上方有廣大的區域(SAC區)可用來蓄煙,以及FFU(Fan Filter Units)濾網於火災發生時會受到高溫的影響而燒破,使煙流往SAC區竄升,故本研究利用SAC區蓄煙,並於該區增設排煙口進行排煙,以減緩煙流的沉積與擴散於主要工作區(FAB區)。 此外,為了於火災發生時,可以將煙流侷限於起火區域內,使煙流無法隨內部循環流場擴散,故本研究利用無塵室內部循環式空調設計造成起火點附近之高低壓力差,分別將煙流所流至之區劃其風機關閉、降載至20%與反轉進行三種設計,並利用大火及小火(不足以使濾網產生燒破現象)的情況下,無塵室煙流的控制效果。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。