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題 名 | 金屬有機化學氣相沉積製程與設備技術=Metal Organic Chemical Vapor Deposition Method and Apparatus |
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作 者 | 黃智勇; 王慶鈞; 陳建志; 林龔樑; 簡榮楨; 陳思豪; 王怡珊; 陳志勇; 林士欽; 蔡陳德; 趙主立; | 書刊名 | 機械工程 |
卷 期 | 285 2013.06[民102.06] |
頁 次 | 頁51-59 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 有機金屬化學氣相沉積; 接觸熱阻; 金屬層; 熱傳; 承載盤; 熱應力; 翹曲; Metal organic chemical vapor deposition; Thermal contact resistance; Metal film; Heat transfer; Susceptor; Thermal stress; Bowing; |
語 文 | 中文(Chinese) |