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來源資料
機械月刊
39:6=455 2013.06[民102.06]
頁64-83
電機工程
>
電燈;照明電器
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題 名
光學散射量測半導體關鍵尺寸方法中之繞射效率計算
作 者
陳盈佑
;
陳昱廷
;
李國華
;
郭鴻飛
;
書刊名
機械月刊
卷 期
39:6=455 2013.06[民102.06]
頁 次
頁64-83
專 輯
自動化專輯
分類號
448.5
關鍵詞
光學散射量測
;
嚴格耦合波理論分析
;
有限時域差分法
;
高介電層金屬閘
;
語 文
中文(Chinese)
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