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題名 | 奈米轉印製造技術發展現況=Introduction of Nanoimprint Manufacturing |
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作者 | 張復瑜; 林宏彝; 賴文郎; 丁嘉仁; 張所鋐; 吳東權; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 294 2007.09[民96.09] |
頁次 | 頁16-26 |
專輯 | 微/奈米製造技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 有限時域差分法; 奈米結構; 抗反射; 連續式滾印; 滾筒模具; FDTD; Nanostructure; Anti-reflection; Roll to roll; R2R; Roller mold; |
語文 | 中文(Chinese) |