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來源資料
臺灣奈米會刊
35 2013.11[民102.11]
頁36-45
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題 名
原子力顯微鏡搭配雙傾斜疊合法量測線寬之技術研究=AFM Linewidth Measurement Employing Image Stitching Method
作 者
何柏青
;
劉惠中
;
張詠晴
;
傅尉恩
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷 期
35 2013.11[民102.11]
頁 次
頁36-45
專 輯
奈米量測與檢測
分類號
471.713
關鍵詞
原子力顯微鏡
;
雙傾斜疊合法
;
線寬
;
量測系統
;
AFM
;
語 文
中文(Chinese)
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