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來源資料
潔淨科技
14 民95.07
頁37-51
土木工程;建築工程
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建築設備
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題名
微機電實驗室無塵室系統之量測分析與數值模擬驗證=Field Tests and Numerical Simulation Validation of a Cleanroom in MEMS Lab
作者姓名(中文)
王輔仁
;
李國正
;
丁相元
;
書刊名
潔淨科技
卷期
14 民95.07
頁次
頁37-51
分類號
441.6
關鍵詞
無塵室
;
全尺寸量測
;
計算流體力學模擬
;
污染控制
;
語文
中文(Chinese)
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