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題 名 | 氣態分子污染物對不同材質表面之吸咐現象分析=A New Method to Measure the Deposition of Gaseous DBP on Different Surfaces under the Same Space |
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作 者 | 徐家紹; 胡石政; | 書刊名 | 潔淨科技 |
卷 期 | 12 民94.12 |
頁 次 | 頁8-16 |
專 輯 | AMC專題 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 晶圓傳輸盒; 氣態分子污染物; 表面污染物; 鄰苯二甲酸二丁脂; FOUP; Airborne molecular contamination; Surface contamination; DBP; |
語 文 | 中文(Chinese) |