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題名 | 低阻抗化學濾網應用於潔淨室外氣空調箱之節能探討=Low Pressure-drop Chemical Filters Applied in Cleanroom Make-up Air Unit for Energy Saving |
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作者 | 康育豪; 彭及青; 周雅文; 黃蒨芸; Kang, Yu-hao; Perng, Jyi-ching; Chou, Ya-wen; Huang, Chien-yun; |
期刊 | 冷凍空調&能源科技 |
出版日期 | 20090400 |
卷期 | 56 2009.04[民98.04] |
頁次 | 頁54-58 |
分類號 | 446.64 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 化學濾網; 微量氣態分子污染物; 外氣空調箱; Chemical filter; AMCs; |
中文摘要 | 在高科技半導體製程技術的不斷發展下,電晶體元件線寬早已進入奈米等級,對於製程環境之潔淨需求將日趨嚴苛。爲了提升產品良率與製程可靠度,目前普遍做法則在外氣空調箱或潔淨室內FFU與機台內部加裝化學濾網(Chemical Filter)來濾除微量氣態分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMCs)。然而隨著氣態污染物種類的不同,外氣空調箱內所裝設的化學濾網甚至可多達三道,來濾除各種有機性、酸類、鹼類等氣態分子污染物質,而此時化學濾網阻抗特性,勢必影響空調箱的運轉耗能,本文藉由化學濾網的阻抗特性,與實際量測外氣空調箱中之耗能變化,來了解化學濾網阻抗大小對空調箱運轉耗能與節能效益。 |
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