您的瀏覽器不支援或未開啟JavaScript功能,將無法正常使用本系統,請開啟瀏覽器JavaScript功能,以利系統順利執行。
返回
/NclService/
快速連結
跳到主要內容
:::
首頁
關於本站
網站導覽
聯絡我們
國家圖書館
English
開啟查詢結果分析
查詢資訊
期刊論文索引(找篇目)
期刊指南(找期刊)
近代 (1853-1979年) 港澳華文期刊索引
漢學中心典藏大陸期刊論文索引
中國文化研究論文目錄
期刊瀏覽
檢索歷程
期刊授權
出版機構
公佈欄
常見問題
軟體工具下載
:::
首頁
>
查詢資訊
>
期刊論文索引查詢
>
詳目列表
查詢結果分析
來源資料
科儀新知
34:5=193 2013.04[民102.04]
頁51-63
工程學總論
>
玻璃
相關文獻
感應耦合電漿反應性離子蝕刻於石英玻璃加工的技術與應用
感應耦合電漿離子蝕刻技術應用於3D IC玻璃穿孔導線封裝研究
適用於蛋白質晶片之新型光阻劑共聚物的設計與合成
石英玻璃上BSD的研發成功--專訪松下電工(株)FPD研究部菰田卓哉先生
低熔點玻璃光纖與石英玻璃光纖熔接技術之現況與未來發展趨勢
頁籤選單縮合
基本資料
引用格式
國圖館藏目錄
全國期刊聯合目錄
勘誤回報
我要授權
匯出書目
題名
感應耦合電漿反應性離子蝕刻於石英玻璃加工的技術與應用=Micro Fabrication on Quartz Glass by Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching and Its Application
作者
湯喻翔
;
黃茂榕
;
林郁欣
;
蕭銘華
;
書刊名
科儀新知
卷期
34:5=193 2013.04[民102.04]
頁次
頁51-63
分類號
440.33
關鍵詞
反應氣體
;
感應耦合電漿離子蝕刻
;
石英玻璃
;
語文
中文(Chinese)
頁籤選單縮合
推文
引用網址
引用嵌入語法
Line
FB
Google bookmarks
本文的引用網址:
複製引用網址
本文的引用網址:
複製引用網址