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來源資料
科儀新知
34:5=193 2013.04[民102.04]
頁51-63
工程學總論
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玻璃
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題 名
感應耦合電漿反應性離子蝕刻於石英玻璃加工的技術與應用=Micro Fabrication on Quartz Glass by Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching and Its Application
作 者
湯喻翔
;
黃茂榕
;
林郁欣
;
蕭銘華
;
書刊名
科儀新知
卷 期
34:5=193 2013.04[民102.04]
頁 次
頁51-63
分類號
440.33
關鍵詞
反應氣體
;
感應耦合電漿離子蝕刻
;
石英玻璃
;
語 文
中文(Chinese)
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