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| 題 名 | Sol-gel Synthesis and Characterization of Y戓Zr[fec5] O□ Nanopowders for CMP Application=以溶膠-凝膠法製備奈米級Y戓Zr[fec5] O□ 粉末於化學機械研磨上應用 |
|---|---|
| 作 者 | 蘇旺申; 涂肇嘉; 蔡明蒔; 黃銘賢; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
| 卷 期 | 35:4 2003.12[民92.12] |
| 頁 次 | 頁250-255 |
| 分類號 | 440.34 |
| 關鍵詞 | 奈米粉末; 釔摻雜氧化鋯; 溶膠-凝膠法; 化學機械研磨; Nanopowder; Yttrium-doped zirconia; Sol-gel; Chemical mechanical polishing; |
| 語 文 | 英文(English) |