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題 名 | 綠能廠務設施 |
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作 者 | 黃東億譯; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 18:12=209 2012.12[民101.12] |
頁 次 | 頁65-71 |
專 輯 | 半導體與光電廠務專輯 |
分類號 | 554.68 |
關鍵詞 | 無塵室; 廠務; 製程冷卻水; Cleanroom; Facility; HVAC; Humidification; Process cooling water; PCW; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 文在闡述一座工廠整體能源的運用,從生產設備到廠務系統之所有環節均有關連,運轉費用的降低亦代表獲利提高。在半導體產業裡製程設備的用水及排氣量與廠務的運轉量直接相關,要如何降低用量必須由製程設備製造商與廠務合作。新的廠務系統設計在以使用最少的能源,例如熱及空氣的回收再利用;減少空調系統的壓降,濾網使用低壓降的新材料,將預熱及與預冷盤管整合在一個盤管可以減少一個盤管的壓降;利用無塵室製程設備產生的熱加濕,回收冰水主機冷凝器的熱回收取代鍋爐等均可以降低能源的使用,其觀念均可使用在不同的產業。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。