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題 名 | 掃描式近場光學顯微鏡應用於圖形化藍寶石基板上成長的GaN薄膜之非破壞性檢測=Non-Destructive Test of GaN Thin Film Grown on Patterned Sapphire Substrates by Using Scanning Near-Field Optical Microscope |
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作 者 | 李良箴; 莊佳璁; 宋育泰; 孫允武; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷 期 | 34:3=191 2012.12[民101.12] |
頁 次 | 頁29-34 |
專 輯 | 掃描探針顯微術專題 |
分類號 | 471.713 |
關鍵詞 | 掃描式近場光學顯微鏡; 圖形化藍寶石基板; GaN薄膜; 非破壞性檢測; |
語 文 | 中文(Chinese) |