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題名 | 以灰階田口式方法加快透明導電膜的研發實務= |
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作者 | 許碩夫; 周至宏; 方俊雄; 翁敏航; |
期刊 | 電子月刊 |
出版日期 | 20120900 |
卷期 | 18:9=206 2012.09[民101.09] |
頁次 | 頁142-153 |
分類號 | 468.1 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 灰階田口式方法; 透明導電膜; 氧化鋅; 可撓性基板; |
中文摘要 | 在許多薄膜太陽能電池的結構中,透明導電膜是非常重要的材料層,其決定了太陽能電池的串連電阻值以及增加光在電池元件中的行程。然而,製備透明導電膜有許多的方法,每一種方法又有許多的製程參數,且透明導電膜本身的多組光電特性深受這些製程參數的影響。通常改變一個製程參數就會造成光電特性的變動。對許多研發人員而言,多變因的製程與特性,要找到最佳化的參數,通常要作非常多組實驗才能找到較佳化的參數範圍。本文結合田口式方法與灰階系統理論的灰階田口式方法,做製程參數最佳化的實驗設計,目的是以最少的實驗次數,得到兼顧高穿透率與低電阻率的氧化鋅透明導電膜之最佳製程參數,以加快薄膜太陽能電池生產之研發。 |
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