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題 名 | 高科技設備搬運及運送安全風險評估 |
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作 者 | 黃繼弘; 陳俊瑜; | 書刊名 | 工業安全衛生月刊 |
卷 期 | 277 2012.07[民101.07] |
頁 次 | 頁29-46 |
分類號 | 555.56 |
關鍵詞 | 微影設備; Scanner掃描式曝光機; 設備搬運及運送安全風險評估; 失誤模式與效能分析; 火災動態模擬; Tool move in risk assessment; FMEA; FDS; |
語 文 | 中文(Chinese) |