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題名 | 結晶矽太陽能電池製程設備簡介及其製程關鍵技術分析 |
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作者姓名(中文) | 劉建惟; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 18:3=200 2012.03[民101.03] |
頁次 | 頁105-119 |
專輯 | 半導體與光電製程設備專輯 |
分類號 | 468.1 |
關鍵詞 | 結晶矽太陽能電池; 製程設備; Crystalline silicon solar cells; C-si solar cells; Fabrication equipments; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 結晶矽太陽能電池製程主要包括有:晶圓進料檢驗、表面粗化、磷熱擴散、磷玻璃去除、氮化矽抗反射層沉積、金屬漿網印、金屬電極燒結、電池邊緣絕緣、電池測試與分類等製程,本文將針對結晶矽太陽能電池之各製程設備作介紹,並分析與討論各製程之關鍵技術。 |
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