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題名 | 結合金屬轉印與曲面黃光微影技術製程應用於製作次微米結構之滾輪模仁= |
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作者 | 黃國峰; 李永春; |
期刊 | 微系統暨奈米科技協會會刊 |
出版日期 | 20111200 |
卷期 | 26 2011.12[民100.12] |
頁次 | 頁71-75 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 金屬轉印; 曲面黃光微影技術; 微米結構; 滾輪模仁; Curved surface photolithography; Air ring coating system; Metal transfer; UV exposure; |