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| 題 名 | 應用全像干涉微影技術製作週期與準週期性微奈米結構=Fabrication of Two- and Three-dimensional Periodic and Quasi-periodic Structures by Using Optical Interference Technique |
|---|---|
| 作 者 | 林建宏; 賴玉蝶; 杜名碧; 巫晟逸; 黃郁迪; 梁文評; 林宏彝; 張天立; 周大鑫; 許佳振; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 330 2010.09[民99.09] |
| 頁 次 | 頁22-30 |
| 專 輯 | 微/奈米製造技術專輯 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 全像干涉微影技術; 週期性與準週期性微米結構; 光子晶體與光子準晶體; Holograpy interference lithography; Periodical and quasi-periodical structure; Photonic crystal and photonic quasi crystal; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |