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來源資料
量測資訊
138 2011.03[民100.03]
頁19-25
工程學總論
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材料科學
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題 名
奈米壓痕量測技術於薄膜機械性質之量測能力比對分析
作 者
林秀璘
;
傅尉恩
;
林以青
;
徐炯勳
;
遲雅各
;
書刊名
量測資訊
卷 期
138 2011.03[民100.03]
頁 次
頁19-25
專 輯
品質工程
分類號
440.2
關鍵詞
奈米壓痕量測
;
薄膜機械性質
;
實驗室比對
;
語 文
中文(Chinese)
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