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來源資料
化工技術
19:10=223 2011.10[民100.10]
頁140-154
工程學總論
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題名
ITO薄膜的濺鍍技術及其在光電元件上的應用=
作者
黃念青
;
郭定彥
;
盧信冲
;
期刊
化工技術
出版日期
20111000
卷期
19:10=223 2011.10[民100.10]
頁次
頁140-154
分類號
440.34
語文
chi
關鍵詞
氧化銦錫
;
薄膜
;
平面磁控濺鍍
;
光電元件
;
ITO
;
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