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題 名 | 反應曲面法在白色光阻開發的應用 |
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作 者 | 黃國棟; 張孟浩; 陳育翔; 李降雲; | 書刊名 | 化工技術 |
卷 期 | 19:5=218 2011.05[民100.05] |
頁 次 | 頁80-94 |
專 輯 | DFSS在製程開發的應用專輯 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 反應曲面法; 中央合成設計實驗; 光阻; 熱轉印; 交聯密度; Response surface methodology; Central composite design; Photo-resist; Thermal transfer; Curing density; |
語 文 | 中文(Chinese) |