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題 名 | 以合作研發模式開創半導體新紀元--SEMATECH美國半導體研究院簡介=From Collaboration to Setting New Directions for Semiconductor Industry--A Brief Introduction to SEMATECH |
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作 者 | 楊肇華; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷 期 | 26 2011.09[民100.09] |
頁 次 | 頁64-71 |
專 輯 | 奈米機械 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 半導體; 美國半導體研究院; 技術創新; 微顯影技術; 生產效能; 18吋晶圓; 合作研發; SEMATECH; Lithography; |
語 文 | 中文(Chinese) |