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來源資料
南榮學報
13 2010.05[民99.05]
頁(B3)1-(B3)8
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題 名
射頻磁控濺鍍成長摻雜鋁之氧化鋅薄膜特性分析
作 者
涂易翔
;
許庭魁
;
書刊名
南榮學報
卷 期
13 2010.05[民99.05]
頁 次
頁(B3)1-(B3)8
分類號
448.552
關鍵詞
透明導電氧化物
;
氧化鋅
;
射頻磁控濺鍍
;
語 文
中文(Chinese)
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