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來源資料
真空科技
19:2 民95.11
頁114-118
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題名
藍克賽基板上成長氧化鋅薄膜=
作者
顏國峻
;
吳信賢
;
李茂順
;
林志勳
;
鐘世賓
;
程達隆
;
期刊
真空科技
出版日期
20061100
卷期
19:2 民95.11
頁次
頁114-118
分類號
448.552
語文
chi
關鍵詞
反應性射頻磁控濺鍍
;
氧化鋅
;
藍克賽
;
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