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題 名 | 電漿光譜監控之微晶矽薄膜沉積研究=Study of the Microcrystalline Silicon Thin Film Deposited by Plasma Modulation Method |
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作 者 | 杜陳忠; 林冠宇; 梁沐旺; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 338 2011.05[民100.05] |
頁 次 | 頁47-51 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 微晶矽薄膜; 電漿調變; 電漿放射光譜; Microcrystalline silicon thin film; Plasma modulation; Optical emission spectroscopy; |
語 文 | 中文(Chinese) |