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題 名 | 液體氣化穩定供給系統Piosonic Delivery System及MO-CVD裝置 |
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作 者 | 高松勇吉; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 5:9=50 1999.09[民88.09] |
頁 次 | 頁174-177 |
專 輯 | 半導體廠務專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 液體氣化穩定供給系統; MO-CVD裝置; 有機金屬; Piosonic delivery system; |
語 文 | 中文(Chinese) |