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題名 | 在SOI基板上製作及組裝的微機電光學讀取頭 |
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作者姓名(中文) | 林建安; 吳昌修; 邱一; 施錫富; | 書刊名 | 微系統暨奈米科技協會會刊 |
卷期 | 24 2010.11[民99.11] |
頁次 | 頁54-59 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 組裝; 非垂直鏡面; 光學讀取頭; 絕緣層上矽晶圓; Assembly; Nonvertical mirror; Optical pickup; SOI; |
語文 | 中文(Chinese) |