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題名 | CMOS MEMS電容式微麥克風設計 |
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作者姓名(中文) | 李建興; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 17:1=186 2011.01[民100.01] |
頁次 | 頁58-76 |
專輯 | 微奈米機電系統專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 吸附電壓; 電容式微麥克風; 靈敏度; CMOS MEMS; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | CMOS電容式微麥克風使用矽質半導體材料來製作,這種具有革新意義的微麥克風汲取了半導體製程技術的種種優點,且生產出來的微麥克風具高重複性、優異的聲學性能及靈活的擴充性能於一身,並有別於以往傳統的ECM麥克風,其可大幅降低成本、縮小體積、使商品更具競爭性,並可將噪音訊號監控系統整合於晶片中。但由於MEMS微麥克風之產品結構變化大,因此需要客製化的製程設計化,也因此不同產品間難以固定標準製程製造,而限制了其發展性,也提高了跨入門檻。另一方面,伴隨著台灣晶圓代工業高度成熟的積體電路技術演進優勢,已能採用半導體製程將聲學微機電感測器與前置放大器和A/D等訊號處理電路整合於矽晶圓的表面。 |
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