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題名 | 退火溫度對氧化銦鎵鋅薄膜之特性研究=Investigation of Indium Gallium Zinc Oxide Thin Film under Different Annealing Temperature |
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作者 | 陳炳茂; 黃安笛; 李宗澤; 吳明瑞; 鄒一德; 鄧立峯; 劉柏村; | 書刊名 | 明新學報 |
卷期 | 37:1 2011.02[民100.02] |
頁次 | 頁67-76 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 氧化銦鎵鋅薄膜; 直流濺鍍系統; 退火溫度效應; X光薄膜繞射儀; 原子力顯微鏡; IZGO; DC sputtering system; Annealing temperature effect; X-ray diffraction; Atomic force microcopy; |
語文 | 中文(Chinese) |