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題名 | 太陽光電產業與電漿輔助化學氣相沉積實驗平臺簡介=The Photovoltaic Sector and the Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Experimental Platform |
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作者 | 董福慶; 吳慶輝; 羅展興; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20090500 |
卷期 | 314 2009.05[民98.05] |
頁次 | 頁39-50 |
分類號 | 448.167 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 太陽光電產業; 電漿輔助化學氣相沉積; 電漿鞘層; Photovoltaic sector; PECVD; Plasma sheath; |