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題名 | 應用於ZnO薄膜沉積系統中之雙通道氣體擴散裝置模擬分析=Gas Flow Simulation of Dual Flow Showerhead in a Large Area Chemical Vapor Deposition System |
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作者 | 張家豪; 黃智勇; 江銘通; 張永光; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20090500 |
卷期 | 314 2009.05[民98.05] |
頁次 | 頁96-103 |
分類號 | 448.167 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 低壓化學氣相沉積; 透明導電玻璃; 氣體流場分佈; 電腦模擬; 薄膜太陽電池; Low pressure chemical vapor deposition; Transparent conductive glass; TCO; Air flow distribution; Computer simulation; Thin film solar cell; |