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來源資料
電子月刊
16:4=177 2010.04[民99.04]
頁153-159
電機工程
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電燈;照明電器
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匯出書目
題 名
快速穩定的射頻電漿系統
作 者
黃競平
;
書刊名
電子月刊
卷 期
16:4=177 2010.04[民99.04]
頁 次
頁153-159
分類號
448.5
關鍵詞
電漿電源
;
匹配器
;
脈衝調變
;
自動調變頻率
;
電感耦合電漿
;
RF generator
;
Matching
;
Pulse modulation
;
AFT
;
ICP/TCP
;
語 文
中文(Chinese)
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