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來源資料
真空科技
17:2 2004.09[民93.09]
頁72-76
相關文獻
射頻電漿活化分子束磊晶成長之Ⅲ族--氮化物材料
聚丙烯不織布與感溫水膠的複合化及表面固定多孔性明膠生解材
表面電漿改質技術在生物醫學工程之應用
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題 名
射頻電漿活化分子束磊晶成長之Ⅲ族--氮化物材料=GaN and AlGaN thin Films Grown by Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy
作 者
錢韋至
;
黃健峻
;
王永和
;
書刊名
真空科技
卷 期
17:2 2004.09[民93.09]
頁 次
頁72-76
分類號
448.552
關鍵詞
電漿活化
;
射頻分子束磊晶技術
;
氮化物材料
;
語 文
中文(Chinese)
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