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來源資料
真空科技
19:3 民95.12
頁113-117
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題名
氫氣在熱燈絲CVD沉積多晶矽薄膜成長機制之影響=
作者
連水養
;
吳秉叡
;
毛信元
;
武東星
;
期刊
真空科技
出版日期
20061200
卷期
19:3 民95.12
頁次
頁113-117
分類號
448.552
語文
chi
關鍵詞
熱燈絲化學氣相沉積
;
多晶矽薄膜
;
太陽電池
;
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