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來源資料
真空科技
19:2 民95.11
頁123-128
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題名
濺鍍製程參數與退火溫度對摻鈧氧化鋅薄膜性質之影響
作者姓名(中文)
蕭銘華
;
黃妤家
;
江政忠
;
蘇健穎
;
盧志榮
;
書刊名
真空科技
卷期
19:2 民95.11
頁次
頁123-128
分類號
448.552
關鍵詞
射頻磁控濺鍍
;
氧化鋅摻鈧薄膜
;
退火
;
語文
中文(Chinese)
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