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來源資料
真空科技
19:2 民95.11
頁36-39
電機工程
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題名
氧化銦鋅(IZO)非晶質薄膜擴散阻礙特性與銅製程整合
作者姓名(中文)
方昭訓
;
陳慧津
;
柯銘禮
;
書刊名
真空科技
卷期
19:2 民95.11
頁次
頁36-39
分類號
448.57
關鍵詞
銅製程
;
氧化銦鋅
;
非晶質
;
擴散阻礙層
;
語文
中文(Chinese)
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