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來源資料
電子月刊
16:5=178 2010.05[民99.05]
頁75-86
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題名
TFT LCD廠自動化之非接觸式氣浮傳送技術
作者
鄭璧瑩
;
楊敬明
;
書刊名
電子月刊
卷期
16:5=178 2010.05[民99.05]
頁次
頁75-86
專輯
電子工廠自動化專輯
分類號
448.533
關鍵詞
平面顯示器
;
玻璃基板
;
氣浮平臺
;
搬運系統
;
多孔質氣浮
;
語文
中文(Chinese)
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