頁籤選單縮合
題名 | 玻璃基板主動式氣浮平臺設計與智慧型控制=Design and Intelligent Control of an Active Air Bearing Table for Glass Substrates of Flat Panel Display |
---|---|
作 者 | 江茂雄; 林浩庭; 陳畊谷; 黃峻緯; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 328 2010.07[民99.07] |
頁次 | 頁40-54 |
專輯 | 智慧系統工程技術專輯 |
關鍵詞 | 平面顯示器; 玻璃基板; 氣浮平臺系統; 氣壓伺服系統; 智慧型控制; TFT-LCD; Glass substrate; Air bearing table; Servo pneumatic; Intelligent control; |
語文 | 中文(Chinese) |